产品资料

等离子灰化机

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产品名称: 等离子灰化机
产品型号: PR500/510DP
产品展商: 日本雅马拓
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简单介绍

日本雅马拓低温等离子灰化机、经典桶型:采用自动协调功能及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,等离子灰化机是一款小型紧凑型的等离子处理设备


等离子灰化机  的详细介绍
日本雅马拓等离子灰化机、高频输出 50~500W 反应腔 Φ215×305mm

等离子灰化机、低温等离子·经典桶型。

PR500:手动控制

PR510:自动触摸屏控制
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。

 等离子灰化机、用途

●去除光刻胶
● 部品清洗
● 界面活性处理
● 微研磨
● 硅晶圆,玻璃基板对应


等离子灰化机、特征

● 大口径(Φ215mm)石英反应腔
● 小型一体化设计
● 操作简单的触摸屏方式(PR510型)

等离子灰化机、内槽

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硅晶圆灰化状态

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等离子灰化机、规格 

型号 PR500 PR510
模式 DP模式,桶型
控 制 部 高频输出功率 Max500W
频率 13.56MHz
同调方式 自动协调
反 应 部 反应腔 石英 Φ215×305mm
反应气体 2系统(O 2 /CF 4 )
控制 手动 触摸屏自动控制
配管材质 不锈钢、特氟龙
外形尺寸 W438×D520×H760mm  参照规格书
重量 约60kg 参照规格书
电源 单相AC100V 9A 三相AC200V 8A

 

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