产品资料

等离子清洗机

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 等离子清洗机
产品型号: PDC200/210/510
产品展商: 日本雅马拓
产品文档: 无相关文档

简单介绍

日本雅马拓等离子清洗机YAMATO雅马拓、等离子清洗机PDC510


等离子清洗机  的详细介绍

日本雅马拓等离子清洗机,山东总负责,肖先生18678027525

YAMATO雅马拓、等离子清洗机PDC510
仪器简介:

研究开发用*适合等离子清洗机
等离子清洗机、用途:
CSB/BGA/COB基板的等离子处理
有机膜和金属氧化膜的除去
印刷电路基板的干洗
界面活性处理

 等离子清洗机、技术参数:

型号
PDC200
PDC210
PDC510
模式
RIE模式(DP选配)
DP模式
DP/RIE切换方式
电极构造
平行平板电极(固定)
高频输出功率
MAX300W
Max 500W
频率
13.56MHz
控制方式
自动联动,液晶触摸屏控制
反应室尺寸
400×250×150mm
500×300×200
电极尺寸
250×170mm
400×200mm
反应室材质
一次性一体成型铝腔(防腐蚀,可对应CF4)
反应气体
2系统(Ar/O2)
填充气体
N2/洁净干燥空气
反应气体流量控制
流量计
聚合控制器
真空泵
另行选配
油回旋真空泵(排气量345L/min)
油回旋真空泵(排气量500L/min)
气体导入口
反应气体2套,填充气体1套
外型尺寸
540×600×600mm
540×600×600mm
700×700×700mm
电源
单相AC100V 15A 50/60Hz
三相AC100V 15A 50/60Hz

产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!